MFC
N2 가스, 50SLM, 4CRB 피팅, F-NET/RS485 통신, CE 인증
호리바스텍에서 제조한 반도체 공정용 매스플로우컨트롤러(MFC)로, N2 가스 기준 50SLM 유량 제어가 가능하며 F-NET 및 RS485 통신 프로토콜을 지원합니다. 2019년 4월 검사 완료된 일본산 정밀 유량 제어 장비입니다.
